Charakteryzacja - Skaningowa Mikroskopia Elektronowa (SEM)
Skaningowa Mikroskopia Elektronowa (SEM)
|
OpisSkaningowy mikroskop elektronowy (SEM) o wysokiej zdolności rozdzielczej (1nm) Hitachi SU-70 przeznaczony jest do badań morfologii i właściwości ciał stałych, w szczególności półprzewodników (również szerokoprzerwowych) oraz materiałów półizolujących. Mikroskop posiada dwa detektory elektronów wtórnych (SE) oraz detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSE), który pozwala obrazować kontrast atomowy i różnice gęstości materiału z niezwykłą czułością. Mikroskop jest dodatkowo wyposażony w detektor promieniowania charakterystycznego EDX oraz układ do katodoluminescencji GATAN Mono CL3. Dzięki takiemu sprzężeniu układ doskonale nadaje się do kompleksowych badań korelacji między mikrostrukturą, składem chemicznym i właściwościami optycznymi. Parametry- Źródło elektronów z emisją polową (typu Schottkyego)
- Dwa detektory elektronów wtórnych (SE): górny tzw. "in lens", oraz dolny podkreślający topografię
- Detektor półprzewodnikowy elektronów rozproszonych wstecznie (BSE) umożliwiający obrazowanie z kontrastem składu chemicznego i różnicą gęstośi materiału
- Tryb STEM umożliwiający obrazowanie w trybie mikroskopii transmisyjnej jasnego i ciemnego pola.
- Napięcia przyspieszające (AV): 0,5 - 30 kV
- Prąd wiązki: pA – zdjęcia, nA – analizy
- Maksymalna wielkość średnicy podłoża: 5 cali
- Nominalna rozdzielczość obrazu: 0,8 nm
- Dodatkowy detektor EDX
- Układ do katodoluminescencji GATAN Mono CL3
|
Skaningowy mikroskop elektronowy Hitachi SU-70.
|
Przykładowe zdjęcia powierzchni z mikroskopu SEM.
|
Przykładowe zdjęcia SEM nanowłókien ZnO po serii wygrzewań.
|
|