Charakteryzacja - Pomiary składu i dystrybucji pierwiastków EDX
Pomiary składu i dystrybucji pierwiastków EDX
|
OpisSpektroskopia rentgenowska z dyspersją energetyczną (ang. Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) - EDX wykorzystuje charakterystyczne promieniowanie rentgenowskie emitowane z próbki pod wpływem bombardowania wysokoenergetyczną wiązką elektronów. Metoda ta umożliwia niezwykle szybką analizę składu pierwiastkowego w ciałach stałych, w szczególności półprzewodnikach (również szerokoprzerwowych) oraz materiałach półizolujących. Integracja ze skaningowym mikroskopem elektronowym wysokiej rozdzielczości umożliwia badania korelacji morfologii powierzchni z mapami rozkładu pierwiastków. Analiza EDX umożliwia:Analizę jakościową i ilościową składu pierwiastkowego – widma zbierane z wybranego punktu, wzdłuż zadanej linii lub obszaru na próbce Badania rozkładu pierwiastków w próbce w postaci map sprzężonych z obrazem mikroskopowym
ParametryIdentyfikowane pierwiastki: cięższe niż Be Rozdzielczość energetyczna: 130 eV (FWHM) – Mn Kα Limit detekcji: 0.1– 0.3 % Rozdzielczość przestrzenna – małe Z: 1-5 µm3, wysokie Z: 0.2 – 1 µm3 Maksymalna średnica próbki: 5 cali Detektor Thermo Scientific UltraDry SDD i systemem do analiz Noran System 7 zintegrowany ze skaningowym mikroskopem elektronowym Hitachi SU-70
|
Skaningowy mikroskop elektronowy Hitachi SU-70.
|
Skan liniowy wielowarstwowej próbki CdPbTe.
|
Mapy rozkładu pierwsiatków.
|
|