Opis
Skaningowy mikroskop elektronowy (SEM) o wysokiej zdolności rozdzielczej (1nm) Hitachi SU-70 przeznaczony jest do badań morfologii i właściwości ciał stałych, w szczególności półprzewodników (również szerokoprzerwowych) oraz materiałów półizolujących. Mikroskop posiada dwa detektory elektronów wtórnych (SE) oraz detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSE), który pozwala obrazować kontrast atomowy i różnice gęstości materiału z niezwykłą czułością. Mikroskop jest dodatkowo wyposażony w detektor promieniowania charakterystycznego EDX oraz układ do katodoluminescencji GATAN Mono CL3. Dzięki takiemu sprzężeniu układ doskonale nadaje się do kompleksowych badań korelacji między mikrostrukturą, składem chemicznym i właściwościami optycznymi.
Parametry
- Źródło elektronów z emisją polową (typu Schottkyego)
- Dwa detektory elektronów wtórnych (SE): górny tzw. "in lens", oraz dolny podkreślający topografię
- Detektor półprzewodnikowy elektronów rozproszonych wstecznie (BSE) umożliwiający obrazowanie z kontrastem składu chemicznego i różnicą gęstośi materiału
- Tryb STEM umożliwiający obrazowanie w trybie mikroskopii transmisyjnej jasnego i ciemnego pola.
- Napięcia przyspieszające (AV): 0,5 - 30 kV
- Prąd wiązki: pA – zdjęcia, nA – analizy
- Maksymalna wielkość średnicy podłoża: 5 cali
- Nominalna rozdzielczość obrazu: 0,8 nm
- Dodatkowy detektor EDX
- Układ do katodoluminescencji GATAN Mono CL3
![]() Skaningowy mikroskop elektronowy Hitachi SU-70. |
![]() Przykładowe zdjęcia powierzchni z mikroskopu SEM. |
![]() Przykładowe zdjęcia SEM nanowłókien ZnO po serii wygrzewań. |
prof. Leszek Sirko, e-mail: director@ifpan.edu.pl, tel: + 48 22 116 2111
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk, Aleja Lotników 32/46, 02-668 Warszawa
tel.: (+48) 22 843 70 01 | fax: (+48) 22 843 09 26 | www.ifpan.edu.pl
NIP: 525-000-92-75, Regon: 000326061