Opis
Spektroskopia rentgenowska z dyspersją energetyczną (ang. Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) - EDX wykorzystuje charakterystyczne promieniowanie rentgenowskie emitowane z próbki pod wpływem bombardowania wysokoenergetyczną wiązką elektronów. Metoda ta umożliwia niezwykle szybką analizę składu pierwiastkowego w ciałach stałych, w szczególności półprzewodnikach (również szerokoprzerwowych) oraz materiałach półizolujących. Integracja ze skaningowym mikroskopem elektronowym wysokiej rozdzielczości umożliwia badania korelacji morfologii powierzchni z mapami rozkładu pierwiastków.
Analiza EDX umożliwia:
Analizę jakościową i ilościową składu pierwiastkowego – widma zbierane z wybranego punktu, wzdłuż zadanej linii lub obszaru na próbce
Badania rozkładu pierwiastków w próbce w postaci map sprzężonych z obrazem mikroskopowym
Parametry
Identyfikowane pierwiastki: cięższe niż Be
Rozdzielczość energetyczna: 130 eV (FWHM) – Mn Kα
Limit detekcji: 0.1– 0.3 %
Rozdzielczość przestrzenna – małe Z: 1-5 µm3, wysokie Z: 0.2 – 1 µm3
Maksymalna średnica próbki: 5 cali
Detektor Thermo Scientific UltraDry SDD i systemem do analiz Noran System 7 zintegrowany ze skaningowym mikroskopem elektronowym Hitachi SU-70
![]() Skaningowy mikroskop elektronowy Hitachi SU-70. |
![]() Skan liniowy wielowarstwowej próbki CdPbTe. |
![]() Mapy rozkładu pierwsiatków. |
prof. Leszek Sirko, e-mail: director@ifpan.edu.pl, tel: + 48 22 116 2111
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk, Aleja Lotników 32/46, 02-668 Warszawa
tel.: (+48) 22 843 70 01 | fax: (+48) 22 843 09 26 | www.ifpan.edu.pl
NIP: 525-000-92-75, Regon: 000326061